蘇州面向全球“揭榜掛帥”!高純合成石英制備關鍵技術入選!
6月26日,蘇州市科學技術局官網發布了關于2024年度蘇州市面向全球“揭榜掛帥”關鍵核心技術攻關需求的公示。其中,高純合成石英制備關鍵技術入選! 技術需求名稱:高純度合成石英制備關鍵技術 (一)任務內容 高純度合成石英玻璃是高精度光學儀器的關鍵材料,高精度光學儀器對石英材料指標要求極高。本項目通過研究和開發石英玻璃高均勻控制技術、超低應力控制 技術、超低金屬雜質含量控制技術、缺陷控制技術和滲氫技術,實現高純度合成石英材料開發。 (二)關鍵考核指標 (1)石英玻璃光學均勻性:≤1ppm; (2)石英玻璃內透過率:193nm透過率≥99.5%; (3)石英玻璃應力雙折射:≤1nm/cm; (4)石英玻璃條紋(3D):無可見條紋; (5)石英玻璃雜質總含量:≤10ppb; (6)氫分子含量:>1x1016/cm3。 石英玻璃是應用日益廣泛的高新技術材料。石英玻璃的成分為二氧化硅,具有透光性高、耐溫性好、膨脹系數低等優越的物化性質,因此被廣泛應用于半導體、光伏、光學、光纖和軍工等高新技術領域。 據了解,合成石英玻璃是先制備高純SiCl4,用SiCl4制成高純二氧化硅粉,再用二氧化硅粉制造合成石英玻璃。自然界中水晶礦石的SiO2含量最高,一般為99.99%,其中含有金屬雜質總量為50-100ppm,經過物理化學提純后,SiO2最高含量為99.999%,由于礦石中的微量包裹體,導致Al含量比較高,總金屬雜質含量在10~30ppm,仍不能滿足特殊產品的要求,比如光纖預制棒、集成電路中光刻工序的掩膜片等高科技行業,均要求SiO2的金屬含量<1ppm,因而需要開展合成SiO2的研究和生產,以滿足高科技產業的需求。
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